據(jù)中國政府采購網(wǎng)公示，上海微電子裝備（集團）股份有限公司中標步進掃描式光刻機項目，成交金額1.1億元，招標方為科學(xué)技術(shù)部。據(jù)悉，上海微電子已于今年5月官宣實現(xiàn)90nm ArF光刻機量產(chǎn)。

有分析稱，上海微電子中標光刻機，半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域有望率先受益。步進掃描式光刻機作為芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備，其商業(yè)化落地或?qū)⑦M一步推動半導(dǎo)體設(shè)備環(huán)節(jié)的國產(chǎn)化進程。國產(chǎn)AI芯片產(chǎn)業(yè)也將迎來發(fā)展契機，若未來光刻機技術(shù)進一步突破，可為國產(chǎn)AI芯片制造提供更先進的設(shè)備支撐，助力提升成熟制程及高端芯片的自主可控能力。

中證半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)聚焦半導(dǎo)體材料與設(shè)備領(lǐng)域，其中半導(dǎo)體設(shè)備占比約62%，有望在國產(chǎn)化產(chǎn)業(yè)趨勢下展現(xiàn)較好彈性；上證科創(chuàng)板人工智能指數(shù)聚焦科創(chuàng)板AI產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)，芯片相關(guān)權(quán)重占比在同類指數(shù)中排名第一，且第一大權(quán)重股為典型的國產(chǎn)AI算力標的。

半導(dǎo)體設(shè)備ETF易方達（159558）、科創(chuàng)人工智能ETF（588730）分別跟蹤以上指數(shù)，助力投資者把握芯片自主可控投資機遇。